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Halbleiterindustrie

Reduzierte Reinigungszeit und bessere Ergebnisse ...

Hersteller von Halbleiterbauelementen und polykristallinem Silizium setzen unterschiedliche Lösungen für die Reinigung der verschiedenen Fertigungsmittel ein. Insbesondere Ablagerungen an den Produktionsanlagen müssen sorgfältig entfernt werden, um Verunreinigungen zu verhindern. Lösungsmittel, Säuren, Drahtbürsten und Schaber werden unter anderem für die Reinigung eingesetzt.

Das Trockeneisstrahlen von PolarTech bietet eine Lösung für die Reinigung in Form manueller Systeme sowie auch als automatisierte Lösung. Mit dem Einsatz der Technologie von PolarTech werden Reinigungszeit und Kosten bei gleichzeitiger Steigerung der Produktqualität und geringeren Stillstandszeiten gesenkt.

Die Technologie von PolarTech ist ein ungiftiges Verfahren und reduziert die Verwendung von Lösungsmitteln und Chemikalien oder macht sie vollständig unnötig. Dies führt zu mehr Arbeitssicherheit und Umweltfreundlichkeit. Trockeneisstrahlen ist abrasivfrei, sodass keine Schäden an Anlagen oder Produkten entstehen. Die Technologie erzeugt keine sekundären Abfälle.

Schnellere Reinigung und Reinigung vor Ort (kein Ausbau notwendig) – die Gesamtkosten für die Reinigung werden drastisch reduziert. So macht sich Ihre Investition schnell bezahlt.

 

Einsatzbereiche

  • Entfernung von Ablagerungen in CVD-Reaktoren
  • Diffusionsteilen
  • Polierteilen
  • Fototeilen
  • Ätzteilen

Vorteile für den Kunden

  • Höhere Anlagennutzungsdauer (bis zu 35 %)
  • Bessere Probenausbeute
  • Niedrigere Gesamtpartikelzahl
  • Keine Chemikalien / Lösungsmittel
  • Reinigung vor Ort (kein Ausbau notwendig)
  • Keine sekundären Abfälle
  • Trockener Reinigungsprozess
  • Abrasivfrei (keine Schäden an Anlagen / Fertigungsmitteln)
  • Geringere Stillstandszeiten
  • Umweltfreundlich
  • Schnelle Investitionsrentabilität

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Schneestrahlen – die Reinigungstechnologie der Zukunft

Die Reinigung mit Trockeneis wird seit einigen Jahren praktiziert. Üblicherweise wird Trockeneis in Form von Pellets oder Blöcken in einem Abschälverfahren verwendet. Diese beiden Formen der Technologie erfordern hohe Investitions- und Betriebskosten. Dies stand bisher einer breiten Einführung dieses Reinigungsverfahrens in der Industrie entgegen.

Die patentierte Technologie von PolarTech bietet die Lösung für die vorgenannten Probleme.

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