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Industrie des semi-conducteurs

Réduction de la durée de nettoyage pour un meilleur résultat...

Les fabricants d’appareils à semi-conducteurs et silicone poly-cristalline emploient diverses solutions pour leurs processus de décontamination des différents outils. L’équipement de production où se déroulent les dépôts doit notamment être maintenu extrêmement propre afin d’éviter toute contamination. Les solvants, acides, brossages de câbles et grattoirs font partie des différentes solutions de nettoyage.

Le système de projection de glace carbonique de PolarTech offre une solution à ces applications de nettoyage, tant pour les systèmes manuels que pour les applications automatisées. L’utilisation de la technologie PolarTech induit une réduction de la durée de nettoyage et des coûts, ainsi que l’amélioration de la qualité du produit et l’abaissement du temps de non-production.

La technologie PolarTech est un processus non toxique, qui minimise, voire remplace l’utilisation des solvants ou autres produits chimiques et offre par conséquent une meilleure sécurité aux opérateurs, tout en étant plus respectueuse de l’environnement. La projection de glace carbonique est non-abrasive, ce qui implique qu’aucun dégât n’affecte les équipements ou l’électronique. Cette technologie est en outre non génératrice de déchets secondaires.

Un nettoyage plus rapide et sur site (démontage inutile) induit que l’ensemble des coûts de nettoyage diminue radicalement. Il en résulte un rapide retour sur investissement.

 

Applications

  • Élimination des accumulations dans les: Réacteurs CVD
  • Pièces de diffusion
  • Pièces de polissage
  • Pièces photo
  • Pièces de gravure

Avantages pour les clients

  • Accroissement de l’utilisation de l’équipement (jusqu’à 35 %)
  • Amélioration des sondes
  • Diminution de la numération totale des particules
  • Pas de produits chimiques ni solvants
  • Nettoyage sur site (pas de démontage)
  • Pas de génération de déchets secondaires
  • Processus de nettoyage à sec
  • Non abrasif (pas de détérioration ni d’usure) pour l’outillage
  • Réduction des arrêts de production
  • Respectueux de l’environnement
  • Rapide retour sur investissement.

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Projection de neige carbonique – La technologie du futur pour le nettoyage

Le nettoyage à la glace carbonique est utilisé depuis plusieurs années. Le plus fréquemment, c’est la forme bâtonnets ou blocs de glace carbonique qui est utilisée, avec une technologie de rasage. Ces deux technologies impliquent de lourds investissements et des frais d’exploitation élevés. Ces facteurs ont donc été jusqu’à présent des obstacles pour généraliser cette technologie de nettoyage dans l’industrie.

La technologie brevetée de PolarTech est la solution à ces problèmes.

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